Bu alət kontaktsız, optik faza dəyişən interferometrik ölçmə metodunu qəbul edir, ölçmə zamanı iş parçasının səthinə zərər vermir, müxtəlif iş parçaları səthinin mikro-topoqrafiyasının üçölçülü qrafiklərini tez ölçə bilir, ölçməni təhlil edib hesablaya bilir. nəticələr.
Məhsul təsviri
Xüsusiyyətləri: Müxtəlif ölçülü blokların və optik hissələrin səthinin pürüzlülüyünü ölçmək üçün uyğundur; hökmdarın və siferblatın retikulunun dərinliyi; barmaqlıq yiv strukturunun örtüyünün qalınlığı və örtük sərhədinin struktur morfologiyası; maqnit (optik) diskin səthi və maqnit başlığı Strukturun ölçülməsi; silikon vafli səthi pürüzlülük və naxış strukturunun ölçülməsi və s.
Alət yüksək ölçmə dəqiqliyinə görə təmassız və üçölçülü ölçmə xüsusiyyətlərinə malikdir və kompüter nəzarətini və ölçmə nəticələrinin sürətli təhlilini və hesablanmasını qəbul edir. Bu alət bütün səviyyələrdə sınaq və ölçmə tədqiqat bölmələri, sənaye və dağ-mədən müəssisələrinin ölçü otaqları, dəqiq emal emalatxanaları üçün uyğundur, həmçinin ali təhsil müəssisələri və elmi tədqiqat müəssisələri və s.
Əsas texniki parametrlər
Səth mikroskopik qeyri-bərabərlik dərinliyinin ölçü diapazonu
Davamlı səthdə, iki bitişik piksel arasında 1/4 dalğa uzunluğundan çox hündürlükdə kəskin dəyişiklik olmadıqda: 1000-1nm
İki bitişik piksel arasında dalğa uzunluğunun 1/4-dən çox hündürlük mutasiyası olduqda: 130-1nm
Ölçmənin təkrarlanma qabiliyyəti: δRa ≤0.5nm
Obyektiv linzaların böyüdülməsi: 40X
Rəqəmsal diyafram: Φ 65
İş məsafəsi: 0,5 mm
Alətin baxış sahəsi Vizual: Φ0.25mm
Fotoşəkil: 0,13×0,13 mm
Alətin böyüdülməsi vizual: 500×
Fotoşəkil (kompüter ekranında müşahidə olunur) -2500×
Qəbuledici ölçmə massivi: 1000X1000
Piksel ölçüsü: 5.2×5.2µm
Ölçmə vaxtı nümunə götürmə (skanlama) vaxtı: 1S
Alətin standart güzgü əks etdirmə qabiliyyəti (yüksək): ~50%
Yansıtma (aşağı): ~4%
İşıqlandırma mənbəyi: közərmə lampası 6V 5W
Yaşıl müdaxilə filtri dalğa uzunluğu: λ≒530nm
Yarım eni λ≒10nm
Əsas mikroskop qaldırıcısı: 110 mm
Stolun qaldırıcısı: 5 mm
X və Y istiqamətində hərəkət diapazonu: ~10 mm
İş masasının fırlanma diapazonu: 360°
İş masasının əyilmə diapazonu: ±6°
Kompüter sistemi: P4, 2.8G və ya daha çox, 1G və ya daha çox yaddaşa malik 17 düymlük düz ekran displey